在于原子化器具有很高的溫度，多種元素都可得到很好地原子化，散射問題也得到的克服，由計算機控制，燈電源順序地向各檢測單元的空心陰極燈供電，所產生的熒光由相應的光電倍增管檢測，光電轉換后的電信號在放大后由計算機處理，并報出各元素的分析結果，值得提出的是，以ICP為原子化器的等離子發射光譜儀對難熔元素的測定靈敏度不高，等離子氣和輔助氣都從切線方向引入，因此高溫氣體形成旋轉的環流。同時，由于高頻感應電流的趨膚效應，流在圓形回路的外周流動。這樣，感耦高頻等離子炬就必然具有環狀結構。 環狀的結構造成一個電學屏蔽的中心通道。電學屏蔽的中心通道具有較低的氣壓、較低的溫度、較小的阻力，使試樣容易進入炬焰，并有利于蒸發、解離、激發、電離以至觀測。
等離子發射光譜儀根據探測器的計數與濃度的比例關系，可測出元素的含量或同位素比值，具有很低的檢出限，基體效應小,譜線簡單，能同時測定許多元素，動態線性范圍寬及能快速測定同位素比值。等離子體參數與氣體壓強的關系，在不同的壓強下放電電子密度的空間分布。因此可以得到該裝置電壓隨氣體壓強變化關系，以便得到獲取等離子體*氣體壓強條件，在穩定放電的情況下，固定放電電壓，給靜電探針加50V電壓，調節氣體壓強直至放電終止。實驗室等離子體是在有限容積的等離子體發生器中產生的。如果環境溫度較低，等離子體能夠通過輻射和熱傳導等方式向壁面傳遞能量。
