ICP光譜儀主要有兩種校正方法：分析校正和波長校正。
   (1)分析校正
    分析校正是為了讓所測元素濃度與儀器所檢測到的光強度建立起，就是我們常說的做標準曲線，輸^事先配好的標樣值，再讓ICP光譜儀對其進行檢測，讓檢測值與濃度之間建立起關系曲線，未知樣品濃度按照該曲線及所；剛得濃度值得出。在ICP—OES的分馓正中，檢測值與濃度之間—般是線性關系。在實際工作中，存在其他元素峰對所測元素峰有干擾的情況時，可以通過調節(jié)計算方法及火焰觀測方式來減小誤差，提高線性相關系數(shù)。這里需要說明線性相關系數(shù)是度的必要不充分條件。

（2）波長校正
   波長校正是為使實際波長同檢測器檢出波長相一致。大致可分為兩分部：首先通調整儀器來對光譜儀進行校正，然后是通過漂移補償?shù)霓k法減少因環(huán)境的變換導致譜線產生位移。光譜校正是儀器實際測得的波長與理論波長之間出現(xiàn)的偏差別進行的校正，一般是通過測試一系列元素的波長來進行校正，校正后所得數(shù)據(jù)即為對光譜彼進行校正的校正數(shù)據(jù)。漂移補嘗是因為光普儀光譜線位移與波長、溫度、濕度、壓力變化之間有非線性函數(shù)關系，這種函數(shù)關系具有普遍適用性。其中零級光譜線隨波長、溫度變化產生的位移zui大。漂移補償是一種常規(guī)監(jiān)視過程，其原理是在進樣間歇期間，監(jiān)測多條氫線波長，將實際值與理論值相比較，并對誤差進行補償