激發時產生的弧焰由透鏡直接導入真空光室，實現光路直通，消除了光路損耗，提高檢出限，測定結果，重現性及穩定性，光學系統自動進行譜線掃描，確保接收的正確性，免除繁瑣的波峰掃描工作。直讀光譜儀自動識別特定譜線，與原存儲線進行對比，確定漂移位置，找出分析線當前的像素位置進行測定；這些元素的特征光譜線通過出射狹縫，射入各自的光電倍增管，光信號變成電信號，經儀器的控制測量系統將電信號積分并進行模/數轉換，然后由計算機處理，并打印出各元素的百分含量。
電極間距較小，固然激發容易，可是隨著放電次數的增加，輔助電極凝聚物質增加，容易造成長尖使得間距變小，這樣也會影響分析精度，特別是向距變化敏感的分析元素分析精度更差。所以直讀光譜儀的電極間距不能過大也不能過小，一般分析間隙采用4-5毫米。一般組織結構的不同不會使工作曲線斜率改變，大體上只有平行移動。控制試樣來校正曲線的上下平移，能減少系統誤差。分析試樣經切割以后、要磨去表面氧化層，用研磨機磨樣時，試樣和標鋼要同時操作，要力求操作一致，用力過大則易使表面氧化。磨紋要求一致，不應有交叉紋。試樣磨后不宜放置過長，否則造成試料表面氧化，影響分析結果。一般可采用中軟，粒度為360的砂輪片磨樣，此外也可用砂紙或砂輪磨樣。
